Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия

Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований, начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники, показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий, рассмотрены тенденции развития, типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС, технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния, свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины Семинары по специальности, образовательная программа: 11.04.04. Электроника и наноэлектроника, магистерская программа Микро- и наноэлектроника. Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 (Электроника и наноэлектроника), 28.03.01 и 28.04.01 (Нанотехнологии и микросистемная техника) в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 Электроника, радиотехника и системы связи, представляет интерес для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.

Книга из коллекции НГТУ - Инженерно-технические науки