• Васильев В. Ю. Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Васильев В. Ю.. - Новосибирск : НГТУ, 2019. - 107 с.. URL: https://e.lanbook.com/book/152159. URL: https://e.lanbook.com/img/cover/book/152159.jpg