Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники (Record no. 1092675)
[ view plain ]
000 -Маркер записи | |
---|---|
Контрольное поле постоянной длины | 04288nam a22002291 4500 |
005 - Дата корректировки | |
Контрольное поле | 20240318235301.0 |
007 - Кодируемые данные (физ. описан.) | |
Контрольное поле постоянной длины | cr bn uu|uu |
008 - Кодируемые данные | |
Контрольное поле постоянной длины | 201026s2019 ru Wk 000 m rus d |
020 ## - Индекс ISBN | |
ISBN | 9785778239159 |
040 ## - Источник каталогиз. | |
Служба первич. каталог. | RU-ToGUA |
Код языка каталог. | rus |
Служба, преобразующая запись | RU-ToGUA |
Правила каталог. | PSBO |
080 ## - Индекс УДК | |
Индекс УДК | 539.23:621.38.049.77(075.8) |
100 1# - Автор | |
Автор | Васильев, В. Ю. |
9 (RLIN) | 288941 |
245 10 - Заглавие | |
Заглавие | Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники |
Физический носитель | Электронный ресурс |
Продолж. заглавия | учебное пособие |
Ответственность | Васильев В. Ю. |
260 ## - Выходные данные | |
Место издания | Новосибирск |
Издательство | НГТУ |
Дата издания | 2019 |
300 ## - Физическое описание | |
Объем | 107 с. |
500 ## - Примечания | |
Примечание | Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия |
520 3# - Аннотация | |
Аннотация | Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований, начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники, показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий, рассмотрены тенденции развития, типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС, технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния, свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины Семинары по специальности, образовательная программа: 11.04.04. Электроника и наноэлектроника, магистерская программа Микро- и наноэлектроника. Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 (Электроника и наноэлектроника), 28.03.01 и 28.04.01 (Нанотехнологии и микросистемная техника) в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 Электроника, радиотехника и системы связи, представляет интерес для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий. |
540 ## - Примечание об условиях использования и воспроизведения | |
Terms governing use and reproduction | Книга из коллекции НГТУ - Инженерно-технические науки |
695 ## - | |
-- | учебная |
856 4# - Электронный адрес документа | |
URL | <a href="https://e.lanbook.com/book/152159">https://e.lanbook.com/book/152159</a> |
Справочный текст | ЭБС Лань |
856 41 - Электронный адрес документа | |
URL | <a href="https://e.lanbook.com/img/cover/book/152159.jpg">https://e.lanbook.com/img/cover/book/152159.jpg</a> |
Справочный текст | ЭБС Лань |
999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
biblionumber (Koha) | 1092675 |
No items available.