Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники (Record no. 1092675)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 04288nam a22002291 4500 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20240318235301.0 |
| 007 - Кодируемые данные (физ. описан.) | |
| Контрольное поле постоянной длины | cr bn uu|uu |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 201026s2019 ru Wk 000 m rus d |
| 020 ## - Индекс ISBN | |
| ISBN | 9785778239159 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGUA |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGUA |
| Правила каталог. | PSBO |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 539.23:621.38.049.77(075.8) |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Васильев, В. Ю. |
| 9 (RLIN) | 288941 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники |
| Физический носитель | Электронный ресурс |
| Продолж. заглавия | учебное пособие |
| Ответственность | Васильев В. Ю. |
| 260 ## - Выходные данные | |
| Место издания | Новосибирск |
| Издательство | НГТУ |
| Дата издания | 2019 |
| 300 ## - Физическое описание | |
| Объем | 107 с. |
| 500 ## - Примечания | |
| Примечание | Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия |
| 520 3# - Аннотация | |
| Аннотация | Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований, начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники, показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий, рассмотрены тенденции развития, типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС, технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния, свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины Семинары по специальности, образовательная программа: 11.04.04. Электроника и наноэлектроника, магистерская программа Микро- и наноэлектроника. Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 (Электроника и наноэлектроника), 28.03.01 и 28.04.01 (Нанотехнологии и микросистемная техника) в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 Электроника, радиотехника и системы связи, представляет интерес для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий. |
| 540 ## - Примечание об условиях использования и воспроизведения | |
| Terms governing use and reproduction | Книга из коллекции НГТУ - Инженерно-технические науки |
| 695 ## - | |
| -- | учебная |
| 856 4# - Электронный адрес документа | |
| URL | <a href="https://e.lanbook.com/book/152159">https://e.lanbook.com/book/152159</a> |
| Справочный текст | ЭБС Лань |
| 856 41 - Электронный адрес документа | |
| URL | <a href="https://e.lanbook.com/img/cover/book/152159.jpg">https://e.lanbook.com/img/cover/book/152159.jpg</a> |
| Справочный текст | ЭБС Лань |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 1092675 |
No items available.