Современное технологическое оборудование для микроэлектроники [Электронный ресурс] учебное пособие В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк

By: Камлюк, В. С [070]Contributor(s): Камлюк, Д. ВMaterial type: TextTextPublication details: Минск РИПО 2022Description: 268 с. ил., табл., схемISBN: 9789858950323Subject(s): Учебник для средних специальных учебных заведений | Other classification: 32.844.1я723 Online resources: ЭБС Университетская библиотека онлайн Abstract: В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники.Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям Автоматизация технологических процессов и производств, Мехатроника, Микроэлектроника.
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
    Average rating: 0.0 (0 votes)
No physical items for this record

Библиогр.: с. 263-264.

В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники.Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям Автоматизация технологических процессов и производств, Мехатроника, Микроэлектроника.

Режим доступа: электронная библиотечная система Университетская библиотека ONLINE, требуется авторизация

https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=697595

There are no comments on this title.

to post a comment.