Современное технологическое оборудование для микроэлектроники [Электронный ресурс] учебное пособие В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк
Material type:![Text](/opac-tmpl/lib/famfamfam/BK.png)
Библиогр.: с. 263-264.
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники.Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям Автоматизация технологических процессов и производств, Мехатроника, Микроэлектроника.
Режим доступа: электронная библиотечная система Университетская библиотека ONLINE, требуется авторизация
There are no comments on this title.