Современное технологическое оборудование для микроэлектроники (Record no. 866536)
[ view plain ]
000 -Маркер записи | |
---|---|
Контрольное поле постоянной длины | 02574nam a22002531 4500 |
005 - Дата корректировки | |
Контрольное поле | 20240311211441.0 |
007 - Кодируемые данные (физ. описан.) | |
Контрольное поле постоянной длины | cr bn uu|uu |
008 - Кодируемые данные | |
Контрольное поле постоянной длины | 240116 2022 ru k 000 rus d |
020 ## - Индекс ISBN | |
ISBN | 9789858950323 |
040 ## - Источник каталогиз. | |
Служба первич. каталог. | RU-ToGUA |
Код языка каталог. | rus |
Служба, преобразующая запись | RU-ToGUA |
Правила каталог. | PSBO |
080 ## - Индекс УДК | |
Индекс УДК | 621.315(076) |
084 ## - Индекс другой классификации/Индекс ББК | |
Индекс другой классификации/Индекс ББК | 32.844.1я723 |
-- | LBC/PL |
Источник индекса | rubbk |
100 1# - Автор | |
Автор | Камлюк, В. С. |
Роль лиц | 070 |
9 (RLIN) | 424215 |
245 10 - Заглавие | |
Заглавие | Современное технологическое оборудование для микроэлектроники |
Физический носитель | [Электронный ресурс] |
Продолж. заглавия | учебное пособие |
Ответственность | В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк |
260 ## - Выходные данные | |
Место издания | Минск |
Издательство | РИПО |
Дата издания | 2022 |
300 ## - Физическое описание | |
Объем | 268 с. |
Иллюстрации/тип воспроизводства | ил., табл., схем. |
504 ## - Библиография | |
Библиография | Библиогр.: с. 263-264. |
520 3# - Аннотация | |
Аннотация | В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники.Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям Автоматизация технологических процессов и производств, Мехатроника, Микроэлектроника. |
538 ## - Примечание о системных особенностях | |
Примечание о системных особенностях | Режим доступа: электронная библиотечная система Университетская библиотека ONLINE, требуется авторизация |
Унифицированный определитель ресурса (URI) | <a href="https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=697595">https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=697595</a> |
650 #4 - Тематические рубрики | |
Основная рубрика | Учебник для средних специальных учебных заведений |
9 (RLIN) | 420963 |
695 ## - | |
-- | учебная |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Камлюк, Д. В. |
9 (RLIN) | 424216 |
856 4# - Электронный адрес документа | |
URL | <a href="https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=697595">https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=697595</a> |
Имя сервера/домена | Режим доступа: электронная библиотечная система Университетская библиотека ONLINE, требуется авторизация |
Справочный текст | ЭБС Университетская библиотека онлайн |
999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
biblionumber (Koha) | 866536 |
No items available.