Современное технологическое оборудование для микроэлектроники (Record no. 866536)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 02574nam a22002531 4500 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20240311211441.0 |
| 007 - Кодируемые данные (физ. описан.) | |
| Контрольное поле постоянной длины | cr bn uu|uu |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 240116 2022 ru k 000 rus d |
| 020 ## - Индекс ISBN | |
| ISBN | 9789858950323 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGUA |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGUA |
| Правила каталог. | PSBO |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 621.315(076) |
| 084 ## - Индекс другой классификации/Индекс ББК | |
| Индекс другой классификации/Индекс ББК | 32.844.1я723 |
| -- | LBC/PL |
| Источник индекса | rubbk |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Камлюк, В. С. |
| Роль лиц | 070 |
| 9 (RLIN) | 424215 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Современное технологическое оборудование для микроэлектроники |
| Физический носитель | [Электронный ресурс] |
| Продолж. заглавия | учебное пособие |
| Ответственность | В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк |
| 260 ## - Выходные данные | |
| Место издания | Минск |
| Издательство | РИПО |
| Дата издания | 2022 |
| 300 ## - Физическое описание | |
| Объем | 268 с. |
| Иллюстрации/тип воспроизводства | ил., табл., схем. |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр.: с. 263-264. |
| 520 3# - Аннотация | |
| Аннотация | В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники.Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям Автоматизация технологических процессов и производств, Мехатроника, Микроэлектроника. |
| 538 ## - Примечание о системных особенностях | |
| Примечание о системных особенностях | Режим доступа: электронная библиотечная система Университетская библиотека ONLINE, требуется авторизация |
| Унифицированный определитель ресурса (URI) | <a href="https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=697595">https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=697595</a> |
| 650 #4 - Тематические рубрики | |
| Основная рубрика | Учебник для средних специальных учебных заведений |
| 9 (RLIN) | 420963 |
| 695 ## - | |
| -- | учебная |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Камлюк, Д. В. |
| 9 (RLIN) | 424216 |
| 856 4# - Электронный адрес документа | |
| URL | <a href="https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=697595">https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=697595</a> |
| Имя сервера/домена | Режим доступа: электронная библиотечная система Университетская библиотека ONLINE, требуется авторизация |
| Справочный текст | ЭБС Университетская библиотека онлайн |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 866536 |
No items available.