Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением (Record no. 921475)
[ view plain ]
000 -Маркер записи | |
---|---|
Контрольное поле постоянной длины | 04900nam a22002411 4500 |
005 - Дата корректировки | |
Контрольное поле | 20240311223924.0 |
007 - Кодируемые данные (физ. описан.) | |
Контрольное поле постоянной длины | cr bn uu|uu |
008 - Кодируемые данные | |
Контрольное поле постоянной длины | 240116 2014 ru 000 rus d |
020 ## - Индекс ISBN | |
ISBN | 9785948363691 |
040 ## - Источник каталогиз. | |
Служба первич. каталог. | RU-ToGUA |
Код языка каталог. | rus |
Служба, преобразующая запись | RU-ToGUA |
Правила каталог. | PSBO |
080 ## - Индекс УДК | |
Индекс УДК | 621.78 |
084 ## - Индекс другой классификации/Индекс ББК | |
Индекс другой классификации/Индекс ББК | 34.65 |
-- | LBC/PL |
Источник индекса | rubbk |
100 1# - Автор | |
Автор | Берлин, Е. В. |
Роль лиц | 070 |
9 (RLIN) | 440825 |
245 10 - Заглавие | |
Заглавие | Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением |
Физический носитель | [Электронный ресурс] |
Продолж. заглавия | научная литература |
Ответственность | Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман |
260 ## - Выходные данные | |
Место издания | Москва |
Издательство | Техносфера |
Дата издания | 2014 |
300 ## - Физическое описание | |
Объем | 256 с. |
Иллюстрации/тип воспроизводства | схем., табл. |
440 #0 - Серия | |
Серия | Мир материалов и технологий |
9 (RLIN) | 20577 |
504 ## - Библиография | |
Библиография | Библиогр. в кн |
520 3# - Аннотация | |
Аннотация | Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография.Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок.Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления.Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций. |
538 ## - Примечание о системных особенностях | |
Примечание о системных особенностях | Режим доступа: электронная библиотечная система Университетская библиотека ONLINE, требуется авторизация |
Унифицированный определитель ресурса (URI) | <a href="https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=273784">https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=273784</a> |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Сейдман, Л. А. |
9 (RLIN) | 452078 |
856 4# - Электронный адрес документа | |
URL | <a href="https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=273784">https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=273784</a> |
Имя сервера/домена | Режим доступа: электронная библиотечная система Университетская библиотека ONLINE, требуется авторизация |
Справочный текст | ЭБС Университетская библиотека онлайн |
999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
biblionumber (Koha) | 921475 |
No items available.