• Берлин Е. В. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением : научная литература / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. - Москва : Техносфера, 2014. - 256 с.: схем., табл.. URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=273784