Берлин Е. В. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии : справочник / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. - Москва : Техносфера, 2010. - 528 с.: ил.,табл., схем.. URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=496417