Берлин Е. В. Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения : практическое руководство / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман, В. Ю. Григорьев. - Москва : Техносфера, 2018. - 464 с.: ил., схем.. URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=597007