Игумнов В. Н. Физические основы микроэлектроники : практикум / В. Н. Игумнов. - Москва, Берлин : Директ-Медиа, 2014. - 266 с.: ил., табл., схем.. URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=271707. URL: https://doi.org/10.23681/271707