Камлюк В. С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. - Минск : РИПО, 2022. - 268 с.: ил., табл., схем.. URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=697595