Плазменное травление в технологии InAlN/GaN HEMT / И. А. Филиппов, В. А. Шахнов, Л. Э. Великовский [и др.] // Известия высших учебных заведений. Физика ежемесячный научный журнал. Томск; Изд-во Томского госуниверситета; 2007. 2020. - Т. 63, № 1. - С. 84-87 (RU-ToGUA). (http://www.ntl.tomskinvest.ru электронная версия журнала). (https://elibrary.ru/title_about.asp?id=7725 электронная версия журнала. URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=42262352