Александрова О. А. Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 1. От минерального сырья к монокристаллу : учебник для вузов / Александрова О. А.,Лебедев А. О.,Мараева Е. В.; Александрова О. А., Мараева Е. В.. - Санкт-Петербург : Лань, 2023. - 172 с.. URL: https://e.lanbook.com/book/302354. URL: https://e.lanbook.com/img/cover/book/302354.jpg