Междисциплинарное учебное пособие, предназначенное для факультативного изучения студентами магистратуры, обучающимися по направлениям подготовки "Техносферная безопасность", "Нанотехнологии и микросистемная техника" и "Конструирование и технология электронных средств". <br>Рассмотрены основные закономерности образования, свойства и примеры использования золь-гель-пленок легированных лантаноидами на планарных подложках и в мезоскопических порах пористого кремния, пористого анодного оксида алюминия и синтетических опалов, а также легированных фосфором или бором анодных оксидных пленок кремния, карбида кремния, нитрида кремния и легированных хлором - меди (I).