Содержание предлагаемого пособия соответствует лекционному курсу "Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур", читаемому в качестве спецкурса студентам специальности 071000 "Материаловедение и новые технологии". В нем кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассматриваемой в качестве основного инструментального метода. Показана связь деформаций в сложных многослойных структурах с измеряемыми рентгенодифрактометрическими методами характеристиками: средними деформациями, усредненными по толщине гетероструктуры, профилями деформации, кривизной. <br>Пособие по этой тематике издается впервые. Необходимость издания определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует.