Плазменное травление в технологии InAlN/GaN HEMT И. А. Филиппов, В. А. Шахнов, Л. Э. Великовский [и др.]
Material type:![Article](/opac-tmpl/lib/famfamfam/AR.png)
No physical items for this record
Библиогр.: 14 назв.
Доступна электронная версия
There are no comments on this title.